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深紫外固态激光源装备的作用与意义

热度218票  浏览2990次 【共0条评论】【我要评论 时间:2011年10月29日 01:44

  深紫外全固态激光源指输出波长在200纳米以下的固体激光器,与同步辐射和气体放电光源等现有光源相比具有高的光子流通量/密度、好的方向性和相干性。   中科院自上世纪90年代初开始研究深紫外非线性光学晶体和激光技术,经过20多年努力,在国际上首次生长出可直接倍频产生深紫外激光非线性光学晶体,并发明棱镜耦合技术,率先发展出实用化的深紫外固态激光源,使中国成为当今世界上唯一掌握深紫外全固态激光技术的国家。

 

陈创天:这一光源已经发现了很多重要的应用,并已经有了成功的范例。

    1) 真空紫外激光超高能量分辨率光电子能谱仪:借助这台激光光电子能谱仪的超高分辨率,我们能够更仔细地了解固体的特性,这将大大促进人们对固体材料中各种奇异电子特性的了解。

    2)推动193nm光刻技术的发展:193nm光刻技术是目前大规模集成电路制造业中的主流技术,在这一技术中,要求有两种光源:一种是照明光源,一种是高精度母版制作所需的相干光源。目前由于没有适合的全固态激光光源,因此多数使用电子束光刻技术,但效率低,成本高。如果能够获得100mW的193nm的全固态窄带宽相干光源,将有可能取代电子束用于集成电路母版制作。

    3)化学动力学研究:深紫外全固态激光源由于每个光子能量高,线宽窄,从而将在分子的激发光分解、自由基反应,超激发态分子等方面开拓新的研究领域。这一光源比现有的同步辐射、原子灯深紫外光源在能量分辨率、光子流密度、偏振特性等方面有很大的优越性。

    4)光电子发射显微镜:使用177.3nm的激光源,通过激发固态表面电子并使用磁场对电子路径的控制,并通过光电倍增管成像,将大大提高表面成像的分辨率和对各种图像的物理、化学内涵解释。

    以上只是目前能够预见的几个重要应用实例,我们相信,随着全固态深紫外激光光源的发展和技术的成熟,将会有越来越多的应用被发现,从而使这一光源在科学研究和高技术领域发挥越来越大的作用。

世界前沿的材料基础科研设备,应用于材料学。。此外还不是这么简单,要想想军事航空航天上的材料。。。意义远不止如此

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